플라즈마 처리 품질은 챔버 내부 부품 상태와 배기 성능에 크게 영향을 받습니다. 공정 부산물이 누적될 경우 플라즈마 균일도가 저하되고 표면 활성화 효과가 감소하여 접착력 저하 및 품질 문제가 발생할 수 있습니다. 제조기술팀은 예방보전을 통해 최적의 플라즈마 처리 환경을 유지하고 있습니다.

• Focus Adaptor 관리
• Focus Adaptor 상태를 점검하여 균일한 플라즈마 처리 조건을 유지.
• Shadow Frame 상태를 관리하여 안정적인 제품 고정 환경을 확보.
• Wall Liner를 점검·교체하여 챔버 내부 오염 축적을 방지.
• Baffle 상태를 관리하여 플라즈마 흐름과 배기 성능을 유지.
• Ceramic Ring의 마모 및 오염 상태를 점검하여 공정 안정성을 확보.
• Exhaust 계통을 점검하여 원활한 배기 환경을 유지.
• 설비 내부 세정 작업을 수행하여 챔버 청정도를 유지.

• 플라즈마 처리 균일도를 향상시켜 표면 활성화 품질을 안정적으로 유지.
• 접착력 및 도포 성능을 향상시켜 후속 공정 품질을 확보.
• 유기 오염물과 산화층 제거 효과를 극대화.
• 박리 및 접합 불량 발생을 최소화.
• HBM 패키지의 장기 신뢰성 향상에 기여.