Chiller Expender 내부에 Tape 잔여물, Die 파편 및 파티클이 축적되면 Vacuum 성능 저하, Sensor 오작동, Expansion 불균일 및 Pick-Up 불량이 발생할 수 있습니다. 설비 Port를 안전하게 비가동 상태로 전환한 뒤 내부 파티클과 접착 잔여물을 제거하고 주요 접촉부를 세정합니다. 이를 통해 Tape 확장 균일도와 설비 동작 안정성을 유지하고 후속 이송 및 Bonding 공정의 품질을 높입니다.

• 작업 중 자재 투입을 방지하기 위해 설비 Port를 비가동 상태로 전환.
• 설비 내부에 떨어진 Die 파편과 파티클을 진공 청소기로 제거.
• DI 와이퍼와 Dry 와이퍼를 사용하여 내부 접촉부와 주요 부품을 세정.
• 설비 내부의 불필요한 스티커와 접착 잔여물을 제거.
• 내·외부 청정 상태를 확인하고 Port를 정상 상태로 복구한 후 가동 여부를 점검.

• Vacuum 성능과 Tape Expansion 균일도를 안정적으로 유지.
• Die Crack과 Pick-Up 불량 발생을 최소화.
• Sensor 오염과 파티클에 의한 설비 오작동을 예방.
• 후속 이송 및 Bonding 공정의 안정성을 높여 제품 품질과 수율 향상에 기여.