FMS 내부의 Filter, Duct, Cup 및 통로에 Flux와 Sludge가 고착되면 배기 성능 저하, 설비 Alarm, 내부 오염 및 파티클 발생이 일어날 수 있습니다. FMS의 상부·전면 덮개와 Flux 포집 Cup을 분해하고, 전용 세정액과 공구를 사용하여 내부 잔여물을 제거한 뒤 재조립합니다. 이를 통해 배기 흐름과 Flux 포집 성능을 안정적으로 유지하고 Reflow 설비의 가동률과 공정 청정도를 향상시킵니다.

• FMS 상부 및 전면 덮개를 분리하여 내부 작업 공간을 확보.
• 전면 하단의 Flux 포집 Cup을 분리하고 전용 세정액으로 세정.
• 분리한 덮개와 부품에 고착된 Flux 및 Sludge를 제거.
• 상부 통로 내부에 굳은 Flux를 전용 세정액과 공구를 사용하여 제거.
• 하부 통로로 배출되는 잔여 Flux를 와이퍼로 제거.
• 세정 완료 후 Cup과 덮개를 재조립하고 상태를 점검.

• Flux 축적에 의한 배기 성능 저하와 설비 Alarm을 예방.
• Reflow 설비 내부의 오염과 Particle 발생을 감소.
• 배기 흐름과 포집 성능을 안정적으로 유지하여 공정 조건의 변동을 최소화.
• 설비 신뢰성과 가동률을 높이고 제품 오염 불량 예방에 기여.